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申请/专利权人：FEI 公司
摘要：本发明公开了用于通过BIB系统有效地处理多个样本的系统和方法。根据本发明的用于通过BIB系统有效地处理多个样本的示例性方法包括：从该BIB系统内的存储位置移除包含样本的单独样本保持器，其中该BIB系统包括定位在一个或多个存储位置中的多个样本保持器；将该单独样本保持器装载到样本台上，该样本台被配置为在由该单独样本保持器保持的该对应样本的抛光期间保持该样本保持器；以及致使BIB源朝向该样本发射宽离子束，其中该宽离子束移除该样本的该宽离子束入射在的至少一部分。一旦该样本的期望部分被移除，该样本保持器就从该样本台移除并且装载回到该存储位置中。
主权项：1.一种用于通过宽离子束BIB系统有效地处理多个样本的方法，所述方法包括以下步骤：从所述BIB系统内的存储位置移除包含样本的单独样本保持器，其中所述BIB系统包括定位在一个或多个存储位置中的多个样本保持器；将所述单独样本保持器装载到样本台上，所述样本台被配置为在由所述单独样本保持器保持的所述对应样本的抛光期间保持所述样本保持器；致使BIB源朝向所述样本发射宽离子束，其中所述宽离子束移除所述样本的所述宽离子束入射在的至少一部分；在所述对应样本已被处理之后，从所述样本台移除所述单独样本保持器；以及将所述单独样本保持器装载回到所述存储位置中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： FEI 公司 用于在BIB系统中自动处理多个样本的系统和方法
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