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申请/专利权人：FEI 公司
摘要：用于更有效地处理多个样本的宽离子束BIB系统。本发明公开了用于在样本制备工作流程中操作具有改进正常运行时间的宽离子束BIB抛光器的系统和方法。根据本发明的用于操作具有改进正常运行时间的宽离子束BIB抛光器的示例性方法包括：当第一BIB源朝向样本发射第一宽离子束时，致使该第一BIB源朝向定位在该BIB抛光器的内部体积内的该样本发射该第一宽离子束；从该BIB抛光器移除第二BIB源，该第二BIB源被配置为在使用时朝向该样本发射第二宽离子束。
主权项：1.一种具有改进正常运行时间的宽离子束BIB样本制备系统，所述BIB样本制备系统包括：壳体，所述壳体限定内部体积；样本台，所述样本台定位在所述内部体积内，其中所述样本台被配置为在由样本保持器保持的样本的抛光期间保持所述样本保持器；第一BIB源，所述第一BIB源被配置为在使用时朝向所述样本发射第一宽离子束，其中所述第一BIB源定位在第一源壳体内；和第二BIB源，所述第二BIB源被配置为在使用时朝向所述样本发射第二宽离子束，其中所述第二BIB源定位在第二源壳体内，其中所述第二BIB源被配置为在所述第一BIB源朝向所述样本发射所述第一宽离子束时被移除。
全文数据：
权利要求：
百度查询： FEI 公司 用于更有效地处理多个样本的宽离子束（BIB）系统
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