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申请/专利权人：FEI 公司
摘要：根据本发明的用于预对准样本以通过宽离子束BIB系统更有效地处理多个样本的系统和方法包括：将样本固定到样本保持器的可调整部分；将该样本保持器与具有第一掩模边缘的第一掩模嵌套，其中该第一掩模定位在BIB系统外部；以及对准该样本以使得其与该第一掩模边缘具有期望的几何关系。该第一掩模和该BIB系统内的具有第二掩模边缘的第二掩模可在几何上类似，使得当该样本保持器与该第一掩模嵌套时的该第一掩模边缘和该样本之间的该几何关系与当该样本保持器与该第二掩模嵌套时的该第二掩模边缘和该样本之间的该几何关系相同。
主权项：1.一种用于预对准样本以通过宽离子束BIB系统更有效地处理多个样本的方法，所述方法包括以下步骤：将样本固定到样本保持器的可调整部分；将所述样本保持器与具有第一掩模边缘的第一掩模嵌套，其中所述第一掩模定位在宽离子束BIB系统外部；对准所述样本以使得所述样本与所述第一掩模边缘具有期望的几何关系；以及将所述样本保持器与具有第二掩模边缘的第二掩模嵌套，其中所述第二掩模定位在BIB系统内，并且其中所述第一掩模和所述第二掩模在几何上类似，使得当所述样本保持器与所述第一掩模嵌套时的所述第一掩模边缘和所述样本之间的所述几何关系与当所述样本保持器与所述第二掩模嵌套时的所述第二掩模边缘和所述样本之间的所述几何关系相同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： FEI 公司 用于预对准样本以通过宽离子束（BIB）系统更有效地处理多个样本的系统和方法
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