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申请/专利权人：讯创(天津)电子有限公司

摘要：本发明公开了基于LMC工艺使用激光束刻蚀射频区域的方法。该方法首先分解刻蚀图像，得到高频分量图像和照明分量图像；对不同速率下的照明分量图像中的切口轮廓叠加得到模板图像；由照明分量图像确定宏观特征描述子；对高频分量图像分析得到微观结构矩阵；将模板图像和修改后的微观结构矩阵输入孪生网络得到热特性描述子；将基于不同大小的方阵得到的热特性描述子进行聚类，得到安全刻蚀类型；基于模板图像、安全刻蚀类型和对应的速率训练专家网络，将模板图像输入专家网络中得到最佳刻蚀速率。本发明从微观特征和宏观特征分析确定出最佳刻蚀速率，实现对激光功率分布的控制，提高了刻蚀的精度。

主权项：1.一种基于LMC工艺使用激光束刻蚀射频区域的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：获取刻蚀区域的刻蚀图像；分解刻蚀图像，得到高频分量图像和照明分量图像；对不同速率下刻蚀获得的照明分量图像中的切口轮廓叠加，得到模板图像；由不同速率获得的照明分量图像中各像素点处最值，构建照明分量端值图；比较照明分量端值图和照明分量图像的直方图特征，确定宏观特征描述子；获取高频分量图像的功率谱，对功率谱进行采样，得到各个角向的频谱曲线；对所有高频分量图像不同高频分量的不同角向的频谱曲线进行相关性分析构建邻接矩阵，得到微观结构矩阵；从微观结构矩阵中选取方阵对其进行修改；将模板图像和修改后的微观结构矩阵输入训练好的孪生网络得到热特性描述子；将基于不同大小的方阵得到的热特性描述子进行聚类，得到安全刻蚀类型；基于模板图像、安全刻蚀类型和对应的速率训练专家网络，将模板图像输入训练好的专家网络中得到最佳刻蚀速率；其中，由不同速率获得的照明分量图像中各像素点处最值，构建照明分量端值图，包括：所述照明分量端值图包括照明分量最大图和照明分量最小图；获取不同速率下的照明分量图像中各个像素点处的最大像素值，由各个像素点的最大像素值构建照明分量最大图；获取不同速率下的照明分量图像中各个像素点处的最小像素值，由各个像素点的最小像素值构建照明分量最小图；其中，比较照明分量端值图和照明分量图像的直方图特征，确定宏观特征描述子，包括：分割照明分量图像，得到子块，获取每个子块在不同方向下对应的梯度方向直方图的直方图特征；比较照明分量图像中子块与照明分量端值图中子块在不同方向下对应的直方图特征，得到差异距离值；由不同方向下对应的差异距离值构建反射率变化直方图，将所有子块的反射率变化直方图连接并转化为高维向量，得到宏观特征描述子；其中，比较照明分量图像中子块与照明分量端值图中子块在不同方向下对应的直方图特征，得到差异距离值，包括：根据照明分量图像中子块在不同方向范围内对应的直方图特征的概率分布和照明分量端值图中子块在不同方向范围内对应的直方图特征的概率分布，计算海林格距离，作为差异距离值。

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