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申请/专利权人：保定市北方特种气体有限公司
摘要：本发明公开了一种CVD\CVI制备SiC涂层反应气的急冷系统及其方法，涉及新材料制造技术领域，包括反应气文丘里洗涤器及其洗涤泵、反应气气液分离塔、气液分离塔冷媒过滤器及其循环泵、气液分离塔冷媒补充罐、冷媒分离塔及配套冷凝器、储罐。本发明通过特别设计优化的文丘里洗涤器、气液分离塔、冷媒分馏塔，利用冷媒本发明优选与反应前驱体为同种物质将反应气中未反应前驱体、副产物进行冷却、液化、分离、回收，避免其进入后续设备，即回收了宝贵的前驱体，更重要的是避免副产物在后续设备、管道的集聚，保证了生产的连续、稳定运行，切实杜绝燃烧、爆炸等安全事故，对于CVD\CVI工艺制备SiC涂层的生产具有重大意义。
主权项：1.一种CVD\CVI制备SiC涂层反应气的急冷系统，其特征在于，包括：反应气文丘里洗涤器及其洗涤泵、反应气气液分离塔、气液分离塔冷媒过滤器及其循环泵、气液分离塔冷媒补充罐、冷媒分离塔及配套冷凝器、储罐；上述各个单体设备间通过管道、阀门连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 保定市北方特种气体有限公司 一种CVD\CVI制备SiC涂层反应气的急冷系统及其方法
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