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测定系统和测定方法专利

发布时间:2024-03-22 01:57:18 来源:龙图腾网 导航: 龙图腾网> 最新专利技术> 测定系统和测定方法

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申请/专利权人:日本麦可罗尼克斯股份有限公司

申请日:2021-08-03

公开(公告)日:2024-03-19

公开(公告)号:CN114062882B

专利技术分类:.单个半导体器件的测试(在制造或处理过程中的测试或测量入H01L 21/66;光伏器件的测试入H02S 50/10)[2020.01]

专利摘要:本发明提供一种测定系统和测定方法,能够稳定地测定光半导体元件的准确的测定值。在测定方法中,通过光探针的入射端面来接收从光半导体元件输出的出射光,其中,使光半导体元件与光探针的相对位置沿与出射光的光轴交叉的平面发生变化,在多个位置处分别测定出射光的入射强度,获取表示相对位置的变化与入射强度之间的关系的入射强度图案。

专利权项:1.一种测定方法,通过光探针的入射端面来接收从光半导体元件输出的出射光,所述测定方法的特征在于,将所述光半导体元件与所述入射端面之间的间隔设定为规定的工作距离,使所述光半导体元件与所述光探针的相对位置沿与所述出射光的光轴交叉的平面发生变化,在多个位置处分别测定所述出射光的入射强度,获取表示所述相对位置的变化与所述入射强度之间的关系的入射强度图案,根据所述入射强度图案来计算所述出射光的辐射角。

百度查询: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 测定系统和测定方法

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