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摘要：本发明涉及半导体少子寿命测试技术领域，公开了一种半导体少子寿命测试装置及其测试方法。装置包括待测N型半导体、极性液体、石墨烯、激光器、探测装置以及金属电极。该装置利用石墨烯和N型半导体的费米能级差，将极性液体极化。在光源照射下，N型半导体表面电势和少子载流子浓度变化，大量少子漂移和扩散至N型半导体极性液体表面，因此产生光极化电流。测试方法包括以下步骤：1测量激光器直接照射在N型半导体极性液体石墨烯异质结上的光极化电流；2测量激光器和N型半导体极性液体石墨烯异质结不同距离下的光极化电流；3将测试得出的数据按照公式进行拟合，从而得出少子寿命。
主权项：1.一种少子寿命测试装置，其特征在于，包括：待测的N型半导体2、极性液体3、石墨烯4、激光器6和探测装置7，还包括分设于N型半导体、石墨烯上的第一电极1和第二电极5，N型半导体2、极性液体3、石墨烯4依次叠置形成异质结，激光器6照射异质结或所述N型半导体2上，探测装置连接第一电极1及第二电极5进行电流测量。
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百度查询： 浙江大学 一种少子寿命测试装置及其测试方法
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