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申请/专利权人：洛阳理工学院
摘要：本发明涉及一种高粘附性NPGPDMS温度传感器的制备方法，先将AuAg合金薄膜利用脱合金法去掉Ag，然后用硝酸进行腐蚀，腐蚀后转移至超纯水中静置以洗去残留硝酸，得到NPG薄膜，将NPG薄膜置于干燥箱中干燥后置于匀胶机上旋涂PDMS溶液，得到NPGPDMS材料，将NPGPDMS材料进行真空脱泡，然后进行干燥，最后用激光刻蚀NPGPDMS材料的NPG层，得到NPGPDMS温度传感器。本发明采用纳米多孔金（NPG）作为导电薄膜材料，与PDMS柔性基底结合构建柔性温度传感器，由于NPG的孔中填充了PDMS，因此NPGPDMS之间的界面形成了牢固的“互锁式”结构，增强了界面的结合强度，提高了NPGPDMS的稳定性和使用寿命。
主权项：1.一种高粘附性NPGPDMS温度传感器的制备方法，其特征在于包括以下步骤：（1）采用厚度为400nm的AuAg合金薄膜，Au:Ag为质量比为1:1，利用脱合金法去掉Ag，使Ag的残留量为3-5wt.%；（2）用硝酸溶液作为腐蚀液，将盛放腐蚀液的容器置于40℃的水浴中，将步骤（1）处理后的薄膜置于腐蚀液中进行腐蚀；用玻璃片作为承载体，将腐蚀后的薄膜转移至盛有超纯水的培养皿中静置15min以上以洗去残留的硝酸，得到NPG薄膜，然后将NPG薄膜保存在超纯水中，待用；（3）使用疏水材质作为承载体，将保存在超纯水中的NPG薄膜捞起，置于干燥箱中于60℃干燥1.5h除去NPG薄膜材料孔隙内的水分；（4）将步骤（3）干燥后的NPG薄膜置于匀胶机上旋涂PDMS溶液，重复两次在NPG薄膜表面均匀旋涂PDMS溶液，得到NPGPDMS材料，将NPGPDMS材料置于真空泵中进行真空脱泡；（5）将步骤（4）真空脱泡后的NPGPDMS材料转移至干燥箱中于45℃干燥1.5h，再于75℃干燥4~6h，干燥后将NPGPDMS导材料从疏水材质上撕下，用激光刻蚀NPG层，得到NPGPDMS温度传感器，使用前用无水乙醇和去离子水超声洗涤，并用高纯氮气吹干。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 洛阳理工学院 一种高粘附性NPG/PDMS温度传感器的制备方法
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