龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：洛阳微米光电技术有限公司
摘要：本发明公开一种用于清除真空镀膜工件表面残留空气的装置及方法，包括进气单元、加热单元、离子源腔体和真空室，进气单元与加热腔体连通并用于对加热腔体供气，所述离子源腔体内设有能够用于对加热后的载气进行电离的离子源极片，离子源腔体设置在真空室内，离子源腔体的进口与加热腔体的出口连通，经过加热腔体加热的惰性载气经离子源腔体电离为带电粒子后对放置在真空室内的工件进行轰击清除表面空气；本发明相较于传统加热工件的方式，工序更加的简单，能够实现快速清洗工件表面的目的。
主权项：1.一种用于清除真空镀膜工件表面残留空气的装置，包括进气单元、加热单元、离子源腔体（1）和真空室（2），其特征在于：所述进气单元为气泵，所述气泵的吹气流速为0.5~1升min，载气为干燥的惰性气体，所述加热单元包括加热腔体（3）以及设置在加热腔体（3）顶部的第一红外辐射加热机构（8）和设置在加热腔体（3）底部的第二红外辐射加热机构（9），所述进气单元与加热腔体（3）连通并用于对加热腔体（3）供气，惰性气体进入离子源腔体（1）前，通过加热单元的第一红外辐射加热机构（8）和第二红外辐射加热机构（9）进行加热至100℃，所述加热腔体（3）内设有多个交错设置的挡板（4），并通过挡板（4）将加热腔体（3）的内腔分隔为多个连通的腔室（5），所述离子源腔体（1）内设有能够用于对加热后的载气进行电离的离子源极片，所述离子源腔体（1）设置在真空室（2）内，载气经离子源腔体（1）电离为带电粒子后对放置在真空室（2）内的工件进行轰击清除表面空气；还包括控温单元，所述控温单元包括多个设置在加热腔体（3）内壁上的测温探头（6），所述测温探头（6）通过导线和接头气密引出所述加热腔体（3）后与控制器（7）电连接，所述控制器（7）和加热单元的开关电连接，测温探头（6）检测到加热腔体（3）内的温度信息后传递给控制器（7），并通过控制器（7）控制加热单元的开启或关闭。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 洛阳微米光电技术有限公司 一种用于清除真空镀膜工件表面残留空气的装置及方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号