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申请/专利权人：龙岩学院
摘要：一种晶圆材料磁力研磨的多功能夹具，它涉及芯片晶圆加工技术领域，尤其涉及一种晶圆材料磁力研磨的多功能夹具。它包括底座、固定铝块、滑轨、第一V形夹片和第二V形夹片，底座顶部四周均设置有一个固定铝块，固定铝块内部贯穿设置有滑轨，滑轨顶部左侧设置有第一V形夹片，滑轨顶部右侧设置有第二V形夹片；所述底座上方设置有多个支撑柱，支撑柱顶部设置有酚醛塑料。第一V形夹片和第二V形夹片底部均设置有一个滑块，滑块上方贯穿第一滑杆，滑块下方贯穿第二滑杆，利用第一V形夹片和第二V形夹片对晶圆工件加紧；酚醛塑料，有着较高的机械强度、优良的绝缘性，可以在高温潮湿、腐蚀的环境中保持着稳定性能。
主权项：1.一种晶圆材料磁力研磨的多功能夹具，其特征在于：它包括底座1、固定铝块2、滑轨3、第一V形夹片4和第二V形夹片5，底座1顶部四周均设置有一个固定铝块2，固定铝块2内部贯穿设置有滑轨3，滑轨3顶部左侧设置有第一V形夹片4，滑轨3顶部右侧设置有第二V形夹片5；所述底座上方设置有多个支撑柱6，支撑柱6顶部设置有酚醛塑料7。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 龙岩学院 一种晶圆材料磁力研磨的多功能夹具
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