买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:广东省新兴激光等离子体技术研究院
摘要:本申请提供一种基于MPCVD的生长单晶金刚石材料的基台及基于MPCVD的生长单晶金刚石材料的方法;包括基台底座,用于支撑基台;屏蔽基台,用于包裹单晶金刚石基片侧面;可移动基台,内嵌在屏蔽基台的中部,用于承载单晶金刚石基片并相对于屏蔽基台进行上下移动;在生长单晶金刚石时,从基台底座的下方馈入微波激发出氢等离子体生长单晶金刚石材料;控制系统根据单晶金刚石基片的表面厚度变化实时移动可移动基台,单晶金刚石基片的表面与屏蔽基台的上表面实时保持平齐,使得屏蔽基台凹陷处侧壁贴近单晶金刚石基片侧面,屏蔽四周电场分布而抑制多晶金刚石的生长;该技术方案,可以使得生长条件始终维持稳定,实现高质量、大尺寸的单晶金刚石的制备。
主权项:1.一种基于MPCVD的生长单晶金刚石材料的基台,用于MPCVD沉积腔体内,其特征在于,包括:基台底座,用于支撑基台以及作为耦合天线,维持电场强度在基台底座上方的聚焦分布;屏蔽基台,设于基台底座的中部,用于包裹单晶金刚石基片侧面,屏蔽单晶金刚石基片侧面四周电场分布;可移动基台,内嵌在屏蔽基台的中部,用于承载单晶金刚石基片并相对于屏蔽基台进行上下移动;在生长单晶金刚石时,从基台底座的下方馈入微波使得基台上方形成强电场区域,激发出氢等离子体在单晶金刚石基片表面上生长单晶金刚石材料;控制系统根据单晶金刚石基片的表面厚度变化实时移动可移动基台,单晶金刚石基片的表面与所述屏蔽基台的上表面实时保持平齐,使得屏蔽基台凹陷处侧壁贴近并包裹住单晶金刚石基片侧面,以屏蔽四周电场分布而抑制多晶金刚石的生长。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 广东省新兴激光等离子体技术研究院 基于MPCVD的生长单晶金刚石材料的基台及其方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。