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申请/专利权人:AGC株式会社
摘要:本发明的目的在于提供具有适宜粘度的适合用作为例如抗蚀剂组合物的液状组合物、以及具有缺陷少的凸部的带凸部基材。本发明的液状组合物含有熔融温度为160~320℃的四氟乙烯系聚合物的粉末和具有羧基的酸值在150mgKOHg以下的固化性芳族树脂,其粘度为5000~100000mPa·s。此外,本发明的带凸部基材具有基材和设置在所述基材表面上的由本发明液状组合物形成的具有规定图案的凸部。
主权项:1.一种液状组合物,其含有熔融温度为160~320℃的四氟乙烯系聚合物的粉末和具有羧基的酸值在150mgKOHg以下的固化性芳族树脂,其粘度为5000~100000mPa·s,所述粉末是平均粒径为0.1~10μm的粉末。
全文数据:
权利要求:
百度查询: AGC株式会社 液状组合物及带凸部基材
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