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申请/专利权人：之江实验室;浙江大学

摘要：本发明公开了一种基于折射式指向校正的光束稳定装置及方法，本发明利用楔形板对的相对角度控制实现对光束的位置和角度控制，完全使用透射式光学器件，具有较高的波长兼容性，镜片不易受到机械振动影响角度控制，可实现单轴控制，且可以做到同轴式光路布置。本发明中使用楔形透射板对进行光束指向调控，基于光束透过楔形板形成的折射角度组合进行光束位置与角度联合控制，结合压电器件或电磁式驱动装置进行板的运动驱动，可以实现高精度的光束指向与角度控制。利用本发明方法与装置调整得到的稳定光束，可以广泛用于超分辨显微成像系统和高精度激光直写光刻系统。

主权项：1.一种基于折射式指向校正的光束稳定系统，其特征在于，包括X轴第一透射板（1）、X轴第二透射板（2）、Y轴第一透射板（3）、Y轴第二透射板（4）、偏转校正板（5）、第一分光棱镜（6）、第二分光棱镜（7）、第一透镜（8）、第二透镜（9）、第一反射镜（10）、第三透镜（11）、第一光电感应器（12）、第二光电感应器（13）和控制器（14）；其中，所述X轴第一透射板（1）和X轴第二透射板（2）相互平行反向放置，且其梯形面垂直于X轴；所述Y轴第一透射板（3）和Y轴第二透射板（4）相互平行反向放置，且其梯形面垂直于Y轴；X轴与Y轴透射板绕Z轴垂直放置；所述偏转校正板（5）用于在初始位置上补偿光束经过两对透射板所产生的光束平移偏转；所述第一分光棱镜（6）用于将入射光束分为出射光束与第一反射光束，所述第一反射光束经过所述第二分光棱镜（7）分束后分为第一监控光束与第二监控光束；所述第一监控光束经过所述第一透镜（8）后到达所述第一光电感应器（12），第二监控光束依次经过所述第二透镜（9）、第一反射镜（10）和第三透镜（11）后达到第二光电感应器（13）；所述控制器（14）控制所有透射板的驱动装置电压，分别用于控制各板的转动角度，进而改变每对透射板间的夹角及透射板组与入射光束的夹角；其中同方向一对透射板通过各自角度设定上的配合，能够实现光束在该方向上的平移及角度控制。

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权利要求：

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