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申请/专利权人：浙江大学
摘要：本发明提供了一种超临界晶圆清洗干燥介质回收方法以及系统，能够实现清洗干燥介质的高纯度的分离回收。本发明的第一方面提供了一种超临界晶圆清洗干燥介质回收方法，包括以下步骤：清洗干燥步骤，利用超临界态的清洗干燥介质溶解并带走晶圆上附着的溶剂，得到携带有溶剂的混合介质；吸附步骤，将混合介质与清洗干燥介质吸附剂接触，混合介质中的清洗干燥介质被清洗干燥介质吸附剂吸附富集，与溶剂分离；解吸步骤，对吸附步骤后的清洗干燥介质吸附剂进行解吸，得到高纯度的清洗干燥介质。
主权项：1.一种超临界晶圆清洗干燥介质回收方法，其特征在于，包括以下步骤：清洗干燥步骤，利用超临界态的清洗干燥介质溶解并带走晶圆上附着的溶剂，得到携带有所述溶剂的混合介质；吸附步骤，将所述混合介质与清洗干燥介质吸附剂接触，所述混合介质中的所述清洗干燥介质被所述清洗干燥介质吸附剂吸附富集，与所述溶剂分离；解吸步骤，对所述吸附步骤后的所述清洗干燥介质吸附剂进行解吸，得到高纯度的所述清洗干燥介质。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 超临界晶圆清洗/干燥介质回收方法以及系统
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