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申请/专利权人：细美事有限公司
摘要：本发明涉及一种处理液排放组件和处理液排放方法，并且所述处理液排放组件包括：排出歧管，所述排出歧管连接到基底处理设备的至少一个排放管线，并且被配置为限定预定容纳空间以临时容纳处理液；以及排出管，所述排出管连接到所述容纳空间的底表面，其中，所述排出管在排出歧管的所述容纳空间中限定具有预定高度的水平差，并且所述排出管从所述容纳空间的所述底表面朝向所述容纳空间的上侧突出所述预定高度以限定临时容纳所述处理液的缓冲空间。
主权项：1.一种处理液排放组件，包括：排出歧管，连接到基底处理设备的至少一个排放管线并且被配置为限定预定容纳空间以临时容纳从基底处理设备中的基底处理工艺排出的处理液；以及排出管，连接到所述容纳空间的底表面，以将容纳在所述排出歧管的所述容纳空间中的所述处理液排放到外部，其中，所述排出管在所述排出歧管的所述容纳空间中限定具有预定高度的水平差，并且所述排出管从所述容纳空间的所述底表面朝向所述容纳空间的上侧突出所述预定高度以限定缓冲空间，在所述缓冲空间中临时容纳从所述基底处理设备排放并且收集在所述容纳空间中的所述处理液，直到所述处理液达到与所述容纳空间中的所述预定高度相对应的水平，并且然后被排放。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 处理液排放组件和处理液排放方法
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