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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明关于一种基板干燥方法与基板处理方法。基板干燥方法用以干燥形成有图案P的基板W。基板干燥方法包括涂布步骤、硬化步骤及热分解步骤。涂布步骤中，对基板W涂布干燥辅助液F。干燥辅助液F包含紫外线硬化性材料。硬化步骤中，对基板W上的干燥辅助液F照射紫外线。硬化步骤中，于基板W上形成固化膜H。热分解步骤中，通过加热固化膜H，将固化膜H热分解。热分解步骤中，干燥基板W。
主权项：1.一种基板干燥方法，用于干燥形成有图案的基板，其中，包含：涂布步骤，对上述基板涂布包含紫外线硬化性材料的干燥辅助液；硬化步骤，对上述基板上的上述干燥辅助液照射紫外线，于上述基板上形成固化膜；及热分解步骤，通过加热上述固化膜，将上述固化膜热分解，使上述基板干燥。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板干燥方法与基板处理方法
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