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一种用于激光器的射频电源 

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申请/专利权人:北京热刺激光技术有限责任公司

摘要:一种用于激光器的射频电源,其特征在于:第一功率放大模块1,第二功率放大模块2,第三功率放大模块3,第四功率放大模块4,第五功率放大模块5,第六功率放大模块6,第七功率放大模块7,第八功率放大模块8,第九功率放大模块9,第十功率放大模块10,第十一功率放大模块11,第十二功率放大模块12,射频输出匹配电路13,第一微带功率合成电路15,第二微带功率合成电路16,第三微带功率合成电路17,第四微带功率合成电路18,第五微带功率合成电路20,第六微带功率合成电路21,第七微带功率合成电路22,第一水冷散热器14,第二水冷散热器19。

主权项:1.一种用于激光器的射频电源,其特征在于:包括第一功率放大模块(1),第二功率放大模块(2),第三功率放大模块(3),第四功率放大模块(4),第五功率放大模块(5),第六功率放大模块(6),第七功率放大模块(7),第八功率放大模块(8),第九功率放大模块(9),第十功率放大模块10,第十一功率放大模块(11),第十二功率放大模块(12),射频输出匹配电路(13),第一微带功率合成电路(15),第二微带功率合成电路(16),第三微带功率合成电路(17),第四微带功率合成电路(18),第五微带功率合成电路(20),第六微带功率合成电路(21),第七微带功率合成电路(22),第一水冷散热器(14),第二水冷散热器(19),其中,第一功率放大模块(1)、第二功率放大模块(2)、第三功率放大模块(3)输出到第一微带功率合成电路(15)合成一路,第四功率放大模块(4)、第五功率放大模块(5)、第六功率放大模块(6)输出到第二微带功率合成电路(16)合成一路,第七功率放大模块7、第八功率放大模块(8)、第九功率放大模块(9)输出到第四微带功率合成电路(18)合成一路,第十功率放大模块(10)、第十一功率放大模块(11)、第十二功率放大模块(12)输出到第三微带功率合成电路(17)合成一路,4个微带功率合成电路,各将三路功率放大模块输出的信号合成为一路,第一微带功率合成电路15、第四微带功率合成电路(18)输出给到第五微带功率合成电路(20)的两个输入端,第二微带功率合成电路(16)、第三微带功率合成电路(17)输出到第七微带功率合成电路(22)的两个输入端,所述第五微带功率合成电路(20)、第七微带功率合成电路(22)各把两路输入功率电流合成为一路,并通过电极输送给第六微带功率合成电路(21)最后合成一路,所述的微带功率合成电路再输出到射频输出匹配电路(13),经过所述输出匹配微带电路匹配后输出到二氧化碳激光器,所述第五微带功率合成电路,第六微带功率合成电路(21),第七微带功率合成电路(22)构成第一微带功率合成模块,对于第五微带功率合成电路,射频电流从第一、第二输入端输入,射频电流经过微带线最终聚集合成到第一输出端上,对于第七微带功率合成电路(22)射频电流从第三、第四输入端输入,射频电流经过微带线最终聚集合成到第二输出端上,对于第六微带功率合成电路射频电流从第五、第六输入端输入,射频电流经过微带线最终聚集合成到第三输出端上;所述第一微带功率合成模块还包括第一微带传输部、第二微带传输部、第三微带传输部;所述第一微带功率合成电路(15),第四微带功率合成电路(18)构成第二微带功率合成模块,对于第一微带功率合成电路(15),射频电流从三个输入端输入,射频电流经过微带线最终聚集合成到输出端上,对于第四微带功率合成电路(18)射频电流从另外三个输入端输入,射频电流经过微带线最终聚集合成到另一个输出端上;所述第二微带功率合成模块还包括第六微带传输部(38)和第四微带传输部(43),其中,第六微带传输部38是一根宽3.2mm,长度104.1mm的敷铜线路,其中由2根45mm长的直线与1个半径为4.5mm的半圆首尾相接而成,第四微带传输部43是一根宽3.2mm,长度104.1mm的敷铜线路,其中由2根45mm长的直线与1个半径为4.5mm的半圆首尾相接而成;所述第二微带功率合成电路(16),第三微带功率合成电路(17)构成第三微带功率合成模块,对于第二微带功率合成电路(16),射频电流从三个输入端输入,射频电流经过微带线最终聚集合成到输出端上,对于第三微带功率合成电路射频电流从另外三个输入端输入,射频电流经过微带线最终聚集合成到另一个输出端上;第二微带功率合成电路是由三个总微带合成传输部组成,这三个部分都是一根宽3.2mm,长557mm的微带铜线;第三微带功率合成电路是由三个总微带合成传输部组成,这三个部分都是一根宽3.2mm,长557mm的微带铜线,第一总微带合成传输部是一根宽4mm,总长557mm的微带铜线,其中是由10根直线与8个半径为4.5mm半圆,1个半径为3.67mm的14圆组成;第二总微带合成传输部是一根宽4mm,总长557mm的微带铜线,其中是由8根直线与4个半径为3.67mm半圆,3个半径为3.67mm的14圆组成;第三总微带合成传输部是一根宽8.15mm,总长557mm的微带铜线,其中是由7根直线与4个半径为8mm半圆,2个半径为8mm的14圆组成;第四总微带合成传输部是一根宽8.15mm,总长557mm的微带铜线,其中是由11根直线与8个半径为8mm半圆,2个半径为8mm的14圆组成;第五总微带合成传输部是一根宽4mm,总长557mm的微带铜线,其中是由10根直线与8个半径为4.5mm半圆,1个半径为3.67mm的14圆组成;第六总微带合成传输部是一根宽4mm,总长557mm的微带铜线,其中是由8根直线与4个半径为3.67mm半圆,3个半径为3.67mm的14圆组成;第七总微带合成传输部是一根宽3.2mm,总长557mm的微带铜线,其中是由10根直线与2个半径为4.5mm半圆,8个半径为4.5mm的14圆组成;第八总微带合成传输部是一根宽3.2mm,总长557mm的微带铜线,其中是由9根直线与2个半径为4.5mm半圆,7个半径为4.5mm的14圆组成;第九总微带合成传输部是一根宽3.2mm,总长557mm的微带铜线,其中是由8根直线与4个半径为4.5mm半圆,4个半径为4.5mm的14圆组成;第十总微带合成传输部是一根宽3.2mm,总长557mm的微带铜线,其中是由8根直线与4个半径为4.5mm半圆,4个半径为4.5mm的14圆组成;第十一总微带合成传输部是一根宽3.2mm,总长557mm的微带铜线,其中是由9根直线与2个半径为4.5mm半圆,7个半径为4.5mm的14圆组成;第十二总微带合成传输部是一根宽3.2mm,总长557mm的微带铜线,其中是由10根直线与2个半径为4.5mm半圆,8个半径为4.5mm的14圆组成;第十三总微带合成传输部是一根宽3.2mm,总长557mm的微带铜线,其中是由10根直线与2个半径为4.5mm半圆,8个半径为4.5mm的14圆组成;第十四总微带合成传输部是一根宽3.2mm,总长557mm的微带铜线,其中是由9根直线与2个半径为4.5mm半圆,7个半径为4.5mm的14圆组成;第十五总微带合成传输部是一根宽3.2mm,总长557mm的微带铜线,其中是由8根直线与4个半径为4.5mm半圆,4个半径为4.5mm的14圆组成;第十六总微带合成传输部是一根宽3.2mm,总长557mm的微带铜线,其中是由8根直线与4个半径为4.5mm半圆,4个半径为4.5mm的14圆组成;第十七总微带合成传输部是一根宽3.2mm,总长557mm的微带铜线,其中是由9根直线与2个半径为4.5mm半圆,7个半径为4.5mm的14圆组成;第十八总微带合成传输部是一根宽3.2mm,总长557mm的微带铜线,其中是由10根直线与2个半径为4.5mm半圆,8个半径为4.5mm的14圆组成。

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