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申请/专利权人：北京凯德石英股份有限公司;北京凯芯新材料科技有限公司
摘要：本申请涉及半导体加工技术领域，提供了一种工艺管，包括内管、外管和螺旋件，内管的一端密封设置并设有两侧贯通的流道孔；外管固定设置于内管外周侧，外管靠近流道孔的一端密封设置，外管的另一端通过密封结构与内管相连接；内管和外管之间形成有气体流道，螺旋件设置于气体流道内部，且螺旋件沿内管的轴线方向螺旋延伸设置；内管外侧壁分别固定有进气法兰和排气法兰，进气法兰与气体流道相连通，排气法兰与内管内部相连通。基于此，可以提高各种气体混合之后的均匀性，以利于形成厚度均匀的镀层或薄膜，进而提高所制得半导体芯片的质量。
主权项：1.一种工艺管，其特征在于：包括内管（1）、外管（2）和螺旋件（3），所述内管（1）的一端密封设置并设有两侧贯通的流道孔（11）；所述外管（2）固定设置于内管（1）外周侧，所述外管（2）靠近流道孔（11）的一端密封设置，所述外管（2）的另一端通过密封结构与内管（1）相连接；所述内管（1）和外管（2）之间形成有气体流道（5），所述螺旋件（3）设置于气体流道（5）内部，且所述螺旋件（3）沿内管（1）的轴线方向螺旋延伸设置；所述内管（1）外侧壁分别固定有进气法兰（6）和排气法兰（7），所述进气法兰（6）与气体流道（5）相连通，所述排气法兰（7）与内管（1）内部相连通；所述螺旋件（3）局部绕卷有多个卷簧钢带（9），所有卷簧钢带（9）沿螺旋件（3）的螺旋延伸方向间隔布设；所述卷簧钢带（9）的一端连接于螺旋件（3），另一端呈自由设置，当所述螺旋件（3）安装于气体流道（5）之后，所述卷簧钢带（9）自然张弛、抵贴于外管（2）内周壁及内管（1）外周壁。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京凯德石英股份有限公司 北京凯芯新材料科技有限公司 一种工艺管
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