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申请/专利权人：苏州诚拓智能装备有限公司
摘要：本实用新型涉及一种分片机构，包括若干个分片装置，所述分片装置包括底座、直线模组和若干个传输装置组，若干个传输装置组依次安装在底座上，传输装置组用于传输硅片，直线模组安装在传输装置组的一端，直线模组上滑动设置有滑动板，滑动板上设置有若干个用于与传输装置组相配合的托举驱动组件，所述传输装置组包括第一传输装置和第二传输装置。所述托举驱动组件包括气缸和托板，气缸与滑动板连接，气缸的驱动端和托板连接，气缸用于驱动托板向上托举硅片，所述直线模组用于驱动滑动板带动气缸在第一传输装置和第二传输装置之间水平移动。该分片机构结构简单，易于操作，移动过程中不会对硅片造成不良影响。
主权项：1.一种分片机构，其特征在于，包括若干个分片装置1，所述分片装置1包括底座11、直线模组12和若干个传输装置组13，若干个传输装置组13依次安装在底座11上，传输装置组13用于传输硅片，直线模组12安装在传输装置组13的一端，直线模组12上滑动设置有滑动板15，滑动板15的上设置有若干个用于与传输装置组13相配合的托举驱动组件14，所述传输装置组13包括第一传输装置131和第二传输装置132，所述托举驱动组件14包括气缸141和托板142，气缸141与滑动板15固定连接，气缸141的驱动端和托板142连接，气缸141用于驱动托板142向上托举硅片，所述直线模组12用于驱动滑动板15带动气缸141在第一传输装置131和第二传输装置132之间水平移动。
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百度查询： 苏州诚拓智能装备有限公司 一种分片机构
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