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申请/专利权人：美国亚德诺半导体公司
摘要：本文涉及具有旋转振动抑制的3轴陀螺仪。描述了平衡不期望的线性和角振动的柱状多轴微机电系统MEMS装置例如陀螺仪。在一些实施方案中，柱状MEMS装置可包括至少两个多质量柱，每个柱具有至少三个检测质量块并且被配置为感测绕相应轴的旋转。检测质量块的运动和质量可以被控制以实现MEMS装置的线性和旋转平衡。柱状MEMS装置还可包括一个或多个模块化驱动结构，其与每个多质量柱并排布置，以促进相应柱的检测质量块的移位。本文描述的MEMS装置可以用于感测横滚、航向和俯仰角速率。
主权项：1.一种陀螺仪，包括：第一多个检测质量块，在第一平面中线性排列并配置用于检测绕第一旋转轴的运动，所述第一多个检测质量块包括至少三个被配置为沿第一平面的第一轴平移的检测质量块；第二多个检测质量块，在第一平面中线性排列并配置用于检测绕第二旋转轴的运动，所述第二多个检测质量块包括至少三个被配置为沿垂直于第一轴的第二轴平移的检测质量块；第一驱动器阵列，与所述第一多个检测质量块耦合，并被配置为通过第一驱动器阵列沿着垂直于第一轴的第二轴的位移，使所述第一多个检测质量块沿着第一平面的第一轴平移；和第二驱动器阵列，与所述第二多个检测质量块耦合，第二驱动器阵列被配置为通过第二驱动器阵列沿第二轴的位移使所述第二多个检测质量块沿第二轴平移。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 美国亚德诺半导体公司 具有旋转振动抑制的3轴陀螺仪
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