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申请/专利权人:北京理工大学
摘要:本发明属于等离子体科学与技术领域,公开了一种用于朗缪尔探针的滤波电路、朗缪尔探针和测量系统,其中滤波电路用于抑制所述朗缪尔探针采集到的测量信号中的中高频噪声;该滤波电路由若干个可调滤波单元串联组成,每个可调滤波单元均由一个可调电容和一个电感并联组成。该新型朗缪尔探针设置有该滤波电路。本发明通过三个可以调节的电容,能够消除在特定射频频率下的失真,测量得到较为精确的I‑V曲线,该设备易于加工,使用方便,测量结果准确,方便量产,成本较低。
主权项:1.一种用于朗缪尔探针的滤波电路,其特征在于,包括:所述滤波电路用于抑制所述朗缪尔探针采集到的测量信号中的中高频噪声;所述滤波电路由若干个可调滤波单元串联组成。
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权利要求:
百度查询: 北京理工大学 一种用于朗缪尔探针的滤波电路、朗缪尔探针及测量系统
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