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申请/专利权人：江苏乐萌精密科技有限公司

摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其提供一种金属掩膜板的焊接设备。该金属掩膜板的焊接设备包括框架、薄片张紧机构、传送对位机构、承接板、框架夹紧机构、激光焊接组件及控制柜。本发明提供了一种具有自动上下料、方便调节薄片张紧力、方便调节框架夹紧力、焊点质量稳定功能的自动焊接装置，解决了工作时间长、上下料不便、作业过程中容易出现划伤、张紧薄片后与框架焊接质量不稳定等不足，极大的提升了生产效率，并实现自动化，有效避免了人力搬运造成的磕碰、划伤的同时节省了人力成本。

主权项：1.一种金属掩膜板的焊接设备，其特征在于：包括框架（10）、薄片张紧机构（20）、传送对位机构（30）、承接板（40）、框架夹紧机构（50）、激光焊接组件（60）及控制柜（70），框架（10）包括框座（11）、张紧架（13）及焊接架（12），框座（11）底面固定安装于安装地面上，框座（11）顶面中部设置有传送滑轨（16），传送滑轨（16）长度方向与框座（11）长度方向平行，框座（11）顶面四个角部处分别凸设有张紧安装柱（14），张紧架（13）底面四个角部处分别与四个张紧安装柱（14）顶面固定连接，张紧架（13）顶面四个角部处分别凸设有焊接安装柱（15），焊接架（12）底面四个角部处分别与四个焊接安装柱（15）顶面固定连接，薄片张紧机构（20）底面固定安装于张紧架（13）顶面周缘，传送对位机构（30）滑动地安装于传送滑轨（16）中，承接板（40）安装于传送对位机构（30）顶部，框架夹紧机构（50）固定安装于传送对位机构（30）顶部，激光焊接组件（60）安装于焊接架（12）顶部，控制柜（70）内侧侧壁两端分别安装于远离传送滑轨（16）一侧的两个张紧安装柱（14）的外侧侧壁，薄片张紧机构（20）包括四个张紧机构安装底板（23）及四个薄片张紧模组（22），四个张紧机构安装底板（23）呈圆周阵列分布安装于张紧架（13）顶面周缘，每个张紧机构安装底板（23）顶面两端分别凸设有张紧滑轨（231），每个张紧机构安装底板（23）顶面中部还凸设有张紧气缸（232），每个薄片张紧模组（22）底面两端分别固定安装于两个张紧滑轨（231）一端，且每个薄片张紧模组（22）底面中部与张紧气缸（232）输出轴固定连接，每个薄片张紧模组（22）包括薄片张紧板（25）及多个薄片张紧元件（24），薄片张紧板（25）底面两端分别固定安装于两个张紧滑轨（231）一端，多个薄片张紧元件（24）沿薄片张紧板（25）长度方向等距安装于薄片张紧板（25）顶面邻近张紧架（13）中心一侧，每个薄片张紧元件（24）包括薄片安装板（241）、张紧安装块（242）、缓冲块（243）、张紧安装板（240）、夹紧气缸（21）及张紧夹（244），薄片安装板（241）底面一端固定安装于薄片张紧板（25）顶面邻近张紧架（13）中心一端，张紧安装块（242）底面固定安装于薄片安装板（241）底面一端远离张紧架（13）中心一端，薄片安装板（241）顶面远离张紧安装块（242）一端凹设有滑动槽（245），缓冲块（243）滑动地安装于滑动槽（245）中，且缓冲块（243）与张紧安装块（242）侧壁之间设置有缓冲弹簧（246），缓冲块（243）由弹性材料制成，缓冲块（243）远离张紧安装块（242）一侧顶部凹设有倾斜的挤压面（247），张紧安装板（240）底面远离张紧架（13）中心一端固定安装于张紧安装块（242）顶面，且张紧安装板（240）底面另一端抵持于缓冲块（243），张紧安装板（240）顶面中部及邻近缓冲块（243）一端分别凸设有气缸安装块（249）及夹爪安装块（248），夹紧气缸（21）中部转动地安装于气缸安装块（249）中，张紧夹（244）转动地安装于夹爪安装块（248）中，且张紧夹（244）顶部与夹紧气缸（21）输出轴转动连接，张紧夹（244）底面位于张紧安装板（240）顶面一端正上方，传送对位机构（30）包括传送气缸机组（31）、升降机组（32）、y方向对位机组（33）、x方向对位机组（34）及θ角对位机组（35），传送气缸机组（31）包括两个传送气缸（311），两个传送气缸（311）底部固定安装于框座（11）顶面两侧，升降机组（32）底部滑动地安装于传送滑轨（16）中，且升降机组（32）底部两侧与两个传送气缸（311）输出轴固定连接，y方向对位机组（33）底部安装于升降机组（32）顶部，x方向对位机组（34）底部安装于y方向对位机组（33）顶部，θ角对位机组（35）底部安装于x方向对位机组（34）顶部，y方向对位机组（33）用于对顶部的x方向对位机组（34）、θ角对位机组（35）、承接板（40）及框架夹紧机构（50）在张紧架（13）的长度方向进行对位调节，x方向对位机组（34）用于对顶部的θ角对位机组（35）、承接板（40）及框架夹紧机构（50）在张紧架（13）宽度方向进行对位调节，θ角对位机组（35）用于对顶部的承接板（40）及框架夹紧机构（50）角度进行对位调节，升降机组（32）包括升降座（321）、两个左升降臂（322）、两个右升降臂（323）、驱动元件（37）、升降气缸（324）及提升座（325），升降座（321）底面滑动地安装于传送滑轨（16）中，升降座（321）顶面凹设有升降安装槽（326），两个左升降臂（322）一端分别转动地安装于升降安装槽（326）两侧侧壁一端，两个右升降臂（323）一端分别滑动地安装于升降安装槽（326）底面两侧另一端，且两个左升降臂（322）中部分别通过滑移轴与两个右升降臂（323）中部连接，两个右升降臂（323）内侧侧壁中部转动地设置有气缸连接杆（327）及过渡杆（328），且过渡杆（328）两端通过万向轴连接于两个右升降臂（323）内侧侧壁中部，驱动元件（37）安装于升降安装槽（326）中，升降气缸（324）底部一端转动地安装于升降安装槽（326）底面邻近右升降臂（323）一端中部，升降气缸（324）顶部转动地安装于气缸连接杆（327）中部，提升座（325）底部两侧侧壁一端分别转动地地安装于两个左升降臂（322）顶端，提升座（325）底部两侧侧壁另一端分布滑动地安装于两个右升降臂（323）顶端，提升座（325）顶面沿长度方向凹设有多个预设槽（39），每个右升降臂（323）底面邻近左升降臂（322）一端均凸设有滑动连接杆（329），右升降臂（323）顶面邻近左升降臂（322）一端凹设有倾斜槽（362），两个右升降臂（323）内侧侧壁邻近左升降臂（322）一端之间转动地设置有加固板（363），加固板（363）顶面两端分别凹设有倾斜的除杂槽（364），除杂槽（364）与倾斜槽（362）连通，两个左升降臂（322）顶面邻近滑动连接杆（329）一端均凸设有弧形滑动块（320），弧形滑动块（320）顶面内侧凹设有倾斜的导向面（360），导向面（360）顶面设置有粘滞层，导向面（360）沿长度方向间隔凹设有止滑孔（361），驱动元件（37）包括驱动电机（371），两个驱动安装台（372）、驱动轴（373）、驱动滑移轴（374）、四个传动带（370）、控制架（375）及四个定位控制器（376），驱动电机（371）固定安装于升降安装槽（326）底面邻近左升降臂（322）一端，两个驱动安装台（372）相对设置于邻近左升降臂（322）一端，驱动轴（373）两端转动地安装于两个驱动安装台（372）中，驱动轴（373）输出轴与驱动轴（373）一端固定连接，且驱动轴（373）长度方向与升降安装槽（326）长度方向垂直设置，驱动滑移轴（374）两端分别凸设有第一滚轮（377）及第二滚轮（378），第一滚轮（377）底部抵持安装于导向面（360），第二滚轮（378）顶部抵持于滑动连接杆（329），使得驱动滑移轴（374）夹持于两个左升降臂（322）与两个右升降臂（323）中，四个传动带（370）一端沿长度方向卷设于驱动轴（373）中，四个传动带（370）另一端绕设通过气缸连接杆（327）沿长度方向固定安装于驱动滑移轴（374）中，控制架（375）两端固定安装于升降安装槽（326）底面邻近驱动电机（371）一端，控制架（375）顶面凹设有控制滑移槽（379），且控制滑移槽（379）长度方向与升降安装槽（326）长度方向垂直设置，四个定位控制器（376）沿长度方向安装于控制滑移槽（379）中，每个定位控制器（376）顶部均设置有定位孔传感器，每个定位控制器（376）底部设置有控制电机，控制电机输出轴上设置有张紧轮（380），每个张紧轮（380）底部抵持于传动带（370）顶面一端。

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