龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：株式会社村田制作所
摘要：本发明的成膜用掩模夹具270具备：收容部273，收容被成膜物；掩模部274，在成膜时位于被成膜物的下方，用于防止被成膜物向非成膜区域的成膜；以及掉落抑制构件275，在未设置掩模部274的开口部中，设置于在被成膜物被收容于收容部273的状态下不与被成膜物接触的位置，用于抑制被成膜物的掉落。由此，能够抑制向开口部的被成膜物的掉落。
主权项：1.一种成膜用掩模夹具，其特征在于，具备：收容部，收容被成膜物；掩模部，在成膜时位于所述被成膜物的下方，用于防止向所述被成膜物的非成膜区域的成膜；以及掉落抑制构件，在未设置所述掩模部的开口部中，设置于在所述被成膜物被收容于所述收容部的状态下不与所述被成膜物接触的位置，用于抑制所述被成膜物的掉落，当在所述被成膜物被收容于所述收容部时在所述被成膜物与所述掩模部对置的方向上观察时，所述掉落抑制构件具有以给定的宽度延伸的形状，收容于所述收容部时的所述被成膜物与所述掉落抑制构件之间的距离为所述掉落抑制构件的所述宽度以上，当在所述被成膜物被收容于所述收容部时在所述被成膜物与所述掩模部对置的方向上观察时，在从所述掩模部朝向构成所述收容部的内壁延伸的所述掉落抑制构件与所述内壁之间存在间隙，所述间隙的尺寸为所述收容部的深度的12以下。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社村田制作所 成膜用掩模夹具以及成膜装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号