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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明涉及一种能够抑制镀覆装置中的添加剂的消耗的阳极保持器以及镀覆装置。提出了用于保持镀覆装置中所使用的阳极的阳极保持器，上述阳极保持器具备：内部空间，形成于上述阳极保持器的内部，用于收容上述阳极；掩膜，具有多个孔，并构成为覆盖上述内部空间的前面；以及隔膜，在上述掩膜中的覆盖上述内部空间的前面的区域，该隔膜的至少一部分固定于上述掩膜。
主权项：1.一种阳极保持器，是用于对镀覆装置中所使用的不溶性阳极进行保持的阳极保持器，其中，具备：内部空间，形成于所述阳极保持器的内部，用于收容所述不溶性阳极；掩膜，为具有多个孔的板状部件，并构成为覆盖所述内部空间的前面；以及隔膜，在所述掩膜中的覆盖所述内部空间的前面的区域，该隔膜的至少一部分固定于所述掩膜，所述阳极保持器的所述内部空间与外部隔着所述隔膜以及所述掩膜而被分隔，所述掩膜固定于所述隔膜的与所述内部空间相反的一侧，所述隔膜被所述掩膜与所述不溶性阳极夹持，由此固定于所述掩膜，并被配置为与所述不溶性阳极接触。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 阳极保持器以及镀覆装置
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