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申请/专利权人：山西烁科晶体有限公司
摘要：本实用新型提供了一种半导体晶圆目检读码装置，属于半导体晶圆生产检测设备技术领域；解决了目前半导体晶圆采用强光灯目检依靠人工记录出错率高的问题；包括读码器和控制模块，所述读码器包括设备底座，所述设备底座上固定有高度可调节的支架，支架上设置有支架高度调节器，所述支架的端部固定有红外读码器，位于红外读码器的下方在设备底座上设置有高度及水平位置可调节的真空吸笔限位支架；所述控制模块包括控制器与显示器集成模块和读码指令开关，所述控制器与显示器集成模块通过导线分别与读码指令开关、红外读码器相连，所述控制器与显示器集成模块还通过数据线与标签打印机相连；本实用新型应用于晶圆检测。
主权项：1.一种半导体晶圆目检读码装置，其特征在于：包括读码器和控制模块，所述读码器包括设备底座，所述设备底座上固定有高度可调节的支架，支架上设置有支架高度调节器，所述支架的端部固定有红外读码器，位于红外读码器的下方在设备底座上设置有高度及水平位置可调节的真空吸笔限位支架；所述控制模块包括控制器与显示器集成模块和读码指令开关，所述控制器与显示器集成模块通过导线分别与读码指令开关、红外读码器相连，所述控制器与显示器集成模块还通过数据线与标签打印机相连。
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权利要求：
百度查询： 山西烁科晶体有限公司 一种半导体晶圆目检读码装置
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