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申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司
摘要：一种转换器单元，具有：衬底和相互作用单元，衬底具有至少一个空腔，相互作用单元至少部分地和或完全地布置在空腔上方，内部结构布置在相互作用单元的流体密封空间中，流体密封空间设立为用于保持流体密封空间中的预确定的压力，内部结构具有第一层，内部结构具有第二层，第二层与第一层连接，相互作用单元设立为用于借助第一层和或第二层与布置在流体密封空间中的至少一个另外的结构之间的间距变化来探测和或产生声学信号或者电信号和或相对压力，相互作用单元具有至少一个限界层，至少一个限界层构成流体密封空间的底部和或顶部，内部结构的第一层和或第二层借助连接元件布置在至少一个限界层上。
主权项：1.一种用于电信号和或声学信号和或相对压力的转换器单元10，所述转换器单元具有：-衬底12，所述衬底具有至少一个空腔14，-相互作用单元16，其中，所述相互作用单元16至少部分地和或完全地布置在所述空腔14上方，其中，内部结构22布置在所述相互作用单元16的流体密封空间20中，其中，所述流体密封空间20设立为用于保持所述流体密封空间20中的预确定的压力，其中，所述内部结构22具有第一层24，其中，所述内部结构22具有第二层28，所述第二层与所述第一层24连接，其中，所述相互作用单元16设立为用于借助所述第一层24和或所述第二层28与布置在所述流体密封空间中的至少一个另外的结构18，48之间的间距变化70来探测和或产生声学信号或者电信号和或相对压力，其中，所述相互作用单元16具有至少一个限界层48，所述至少一个限界层构成所述流体密封空间20的底部50和或顶部52，其中，所述内部结构22的第一层24和或第二层28借助连接元件54布置在所述至少一个限界层48上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗伯特·博世有限公司 用于电信号和/或声学信号和/或相对压力的转换器单元
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