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申请/专利权人：湖北兴福电子材料股份有限公司
摘要：一种电子级高纯氯气中金属元素的取样装置，包括有高纯惰性气体瓶、高纯氯气瓶、高纯惰性气体参比系统、高纯氯气湿式取样系统和碱液吸收系统，高纯惰性气体瓶与高纯惰性气体参比系统相连通，高纯氯气瓶与高纯氯气湿式取样系统相连通，所述高纯氯气湿式取样系统和高纯惰性气体参比系统的另一端连通碱液吸收系统，碱液吸收系统的另一端连通气体放空管路，气体放空管路上设置有气体流量计；本发明采用串联吸收与并联参比外标法，能够准确分析测试出高纯惰性气体和无离子水中雷同金属元素的含量，提高了电子级高纯氯气的吸收率，有效阻止了浓差极化造成的金属元素的反渗透，极大提高了检测的可靠性并提高了电子级高纯氯气中金属元素的准确性和准确度。
主权项：1.一种电子级高纯氯气中金属元素的取样装置，该装置包括有高纯惰性气体瓶（1）、高纯氯气瓶（2）、高纯惰性气体参比系统（3）、高纯氯气湿式取样系统（4）和碱液吸收系统（5），其特征在于：高纯惰性气体瓶（1）与高纯惰性气体参比系统（3）相连通，高纯氯气瓶（2）与高纯氯气湿式取样系统（4）相连通，所述高纯氯气湿式取样系统（4）和高纯惰性气体参比系统（3）的另一端连通碱液吸收系统（5），碱液吸收系统（5）的另一端连通气体放空管路（7），气体放空管路（7）上设置有气体流量计（6）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖北兴福电子材料股份有限公司 一种电子级高纯氯气中金属元素的取样装置及测定方法
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