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申请/专利权人：株式会社迪思科

摘要：本发明提供加工装置和板状工件的搬入搬出方法，使加工装置小型化。将粗磨削前的第2板状工件W2保持于第1吸引面801，使用水平移动单元83和上下移动单元82将第2板状工件定位于保持面20a的上方，在使用翻转单元81使第1吸引面和第2吸引面翻转之后，使用上下移动单元使与保持面相对的第2吸引面接近保持面所保持的第1板状工件W1，将粗磨削后的第1板状工件保持于第2吸引面。在使第1搬送垫80A上升至能够翻转的位置后，再次使第1吸引面和第2吸引面上下翻转，使磨削前的第2板状工件朝向保持面下降，将第2板状工件向保持面搬入。具有该搬入搬出功能的加工装置1能够小型化。

主权项：1.一种加工装置，其具有：两个卡盘工作台，它们将板状工件的下表面吸引保持于保持面；加工单元，其对该保持面所吸引保持的板状工件进行加工；搬入搬出单元，其进行板状工件向该保持面的搬入和板状工件从该保持面的搬出；以及控制单元，其中，该搬入搬出单元具有：搬送垫，其对板状工件进行吸引保持；翻转单元，其使该搬送垫的上表面和下表面翻转；上下移动单元，其使该搬送垫沿与该搬送垫的上表面垂直的上下方向移动；以及水平移动单元，其使该搬送垫沿水平方向移动，该搬送垫具有：第1吸引面，其对板状工件进行吸引保持；以及第2吸引面，其相对于该第1吸引面背靠背地配置，对该板状工件进行吸引保持，该控制单元具有进行如下的用于板状工件的搬入搬出的动作的控制的功能：翻转控制部，其对该翻转单元进行控制，使在该第1吸引面或该第2吸引面中的任意一方的吸引面上吸引保持有加工前的板状工件的该搬送垫上下翻转，使未保持该板状工件的另一方的吸引面与该卡盘工作台的该保持面相对；吸引控制部，其通过该上下移动单元使该搬送垫下降，将该卡盘工作台所保持的加工后的板状工件的上表面吸引保持于该另一方的吸引面；搬出控制部，其对该上下移动单元进行控制，使该搬送垫上升至该吸引面能够翻转的高度，将加工后的被加工物从该保持面搬出；以及搬入控制部，其对该翻转单元进行控制而使该搬送垫上下翻转，通过该上下移动单元使该搬送垫下降，将该一方的吸引面所吸引保持的该板状工件向该保持面搬入，该加工装置在该两个卡盘工作台之间的区域配设有第1背板，该搬入搬出单元包含：在该第1背板的一个侧面上配设的第1搬入搬出单元；和在该第1背板的另一侧面上配设的第2搬入搬出单元。

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百度查询： 株式会社迪思科 加工装置和板状工件的搬入搬出方法