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申请/专利权人：江苏西迈科技有限公司
摘要：一种外延炉和外延装置。该外延炉包括外延加热腔、加热装置和外延操作腔；加热装置设置在外延加热腔之外，并被配置为对外延加热腔进行加热；外延操作腔包括相对设置的第一外延接口和第二外延接口，所述第一外延接口与所述外延加热腔密封连接，所述第二外延接口被配置为与其他腔体密封连接；外延操作腔包括操作主腔体、至少一个外延操作窗口和至少一个外延机械手；所述至少一个外延操作窗口和所述至少一个外延机械手对应设置，各外延操作窗口与操作主腔体密封连接，各外延机械手与对应的外延操作窗口密封连接，并被配置为通过对应的外延操作窗口伸入操作主腔体。由此，该外延炉可提高产品质量并提高生产效率。
主权项：1.一种外延炉，包括：外延加热腔；加热装置，设置在所述外延加热腔之外并被配置为对所述外延加热腔进行加热；以及外延操作腔，包括相对设置的第一外延接口和第二外延接口，其中，所述第一外延接口与所述外延加热腔密封连接并使得所述外延加热腔内部的空间与所述外延操作腔内部的空间相连通，所述第二外延接口被配置为与其他腔体密封连接，所述外延操作腔包括操作主腔体、至少一个外延操作窗口和至少一个外延机械手，所述至少一个外延操作窗口和所述至少一个外延机械手对应设置，各所述外延操作窗口与所述操作主腔体密封连接，各所述外延机械手与对应的所述外延操作窗口密封连接，并被配置为通过对应的所述外延操作窗口伸入所述操作主腔体。
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百度查询： 江苏西迈科技有限公司 外延炉和外延装置
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