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申请/专利权人：T·J·谢普拉克
摘要：一种产生输出气体的方法，包括用从电极的尖端传播的RF功率对输入气体进行等离子体化，以形成由管约束的环形等离子体鞘，所述RF功率在所述环形等离子体鞘内传播；以及当所述环形等离子体鞘从所述电极的所述尖端向远处传播时，形成所述输出气体。
主权项：1.一种产生输出气体的方法，其包括：使用从电极的尖端传播的RF功率对输入气体进行等离子化，以形成由管约束的环形等离子体鞘，所述RF功率在所述环形等离子体鞘内传播；和当所述环形等离子体鞘从所述电极的所述尖端向远处传播时，形成所述输出气体。
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