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申请/专利权人：宁波润平电子材料有限公司
摘要：本发明提供了一种对保持环进行表面研磨的方法及保持环，所述方法包括：对保持环的沟槽面依次进行第一研磨、第二研磨和第三研磨；所述第一研磨、第二研磨和第三研磨的施加压力依次递减；所述第一研磨、第二研磨和第三研磨的研磨转速依次递增。本发明提供的方法采用三段式表面研磨替代了原有的车削工艺，避免了出现车刀纹路，提升了产品表面的光洁度及平整度，改善了产品表面质量的一致性，有利于大规模推广应用。
主权项：1.一种对保持环进行表面研磨的方法，其特征在于，所述方法包括：对保持环的沟槽面依次进行第一研磨、第二研磨和第三研磨；所述第一研磨、第二研磨和第三研磨的施加压力依次递减；所述第一研磨、第二研磨和第三研磨的研磨转速依次递增。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波润平电子材料有限公司 一种对保持环进行表面研磨的方法及保持环
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