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申请/专利权人：安徽聚碳机械设备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于MPCVD的气体抽空结构，涉及气体抽空结构领域，解决上述申请文件中气体只与钼托盘底侧环形槽部分接触发热效率较低的问题，采用了如下方案：包括紫铜托盘及卡装在其顶侧的钼托盘，且紫铜托盘的底部固定连接有芯管；所述紫铜托盘的顶侧开设有与钼托盘规格相适配的卡槽，所述紫铜托盘的中心处开设有与芯管相连通的气槽，且紫铜托盘的顶面开设有外气孔；所述钼托盘为空心托盘，所述钼托盘的底板上开设有导通槽，所述钼托盘的底部为U状底托；该用于MPCVD的气体抽空结构，通过钼托盘内侧中空的设置，能够使芯管中的气体直接灌充至钼托盘内侧，并由气轴将其输出至内气孔中，这样能够保证钼托盘从内侧逐渐发热，保证发热效率。
主权项：1.一种用于MPCVD的气体抽空结构，包括紫铜托盘1及卡装在其顶侧的钼托盘2，且紫铜托盘1的底部固定连接有芯管3；其特征在于：所述紫铜托盘1的顶侧开设有与钼托盘2规格相适配的卡槽11，所述紫铜托盘1的中心处开设有与芯管3相连通的气槽12，且紫铜托盘1的顶面开设有外气孔15；所述钼托盘2为空心托盘，所述钼托盘2的底板上开设有导通槽24，所述钼托盘2的底部为U状底托，且该U状底托的顶侧边缘处开设有呈环形的导气槽25。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽聚碳机械设备有限公司 一种用于MPCVD的气体抽空结构
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