买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:深圳市路维光电股份有限公司
摘要:本申请公开了检测掩膜版图形位置精度的方法、装置及设备,涉及精度检测领域,方法包括:选取图像显示区域的一个初始图形;以初始图形的中心位置作为原点,在图像显示区域中沿垂直于光刻机的曝光方向步进,每隔n个选取间距在图像显示区域中取出一个与初始图形相同的图形,直至完成图像显示区域的步进,获得多个重复的图形,并测量每个重复的图形的中心位置的坐标信息,得到由多个图形的坐标信息构成的第一坐标集;在掩膜版的光刻图档查找出与第一坐标集对应的第二坐标集;由第一坐标集减去第二坐标集的坐标信息,获得每隔n个选取间距的图形的偏差值;由偏差值生成数据分布图,依据数据分布图的数据分布状态,确定掩膜版图形位置精度的检测结果。
主权项:1.一种检测掩膜版图形位置精度的方法,其特征在于,方法包括:选取掩膜版的图像显示区域的一个初始图形;以初始图形的中心位置作为原点,在图像显示区域中沿垂直于光刻机的曝光方向步进,每隔n个选取间距在图像显示区域中取出一个与初始图形相同的图形,直至完成图像显示区域的步进,获得多个重复的图形,并测量每个重复的图形的中心位置的坐标信息,得到由多个图形的坐标信息构成的第一坐标集;其中,n为正整数,n的数值是由光刻机的扫描带宽和图像显示区域的尺寸参数确定的;获取掩膜版的光刻图档,在光刻图档查找出与第一坐标集的坐标信息对应的第二坐标集;由第一坐标集的坐标信息减去第二坐标集的坐标信息,获得每隔n个选取间距的图形的偏差值;由偏差值生成数据分布图,依据数据分布图的数据分布状态,确定掩膜版图形位置精度的检测结果。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 深圳市路维光电股份有限公司 检测掩膜版图形位置精度的方法、装置及设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。