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申请/专利权人:金宁
摘要:本发明公开了水银环流真空泵,涉及真空泵技术领域,旨再填补水银真空泵的空缺,提供低成本,高真空度,高效的水银环流真空泵设计原理;水银环流真空泵适用于电子,半导体,化工,食品,航天,科研,核科学等领域;或作为其它类型真空泵的未级泵。
主权项:1.水银环流真空泵,包括吸气室,排气室,排气泵,水银泵,液态水银;一个抽气循环过程是:驱动水银泵把液态水银泵到吸气室,吸气室的液态水银直喷或断续的螺旋水银柱把进气口的气体压入排气室,排气室浮到水银液面的气体由排气泵排出;如此循环工作抽取气体。
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