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申请/专利权人：北京沁圆半导体设备有限公司
摘要：本实用新型提供一种用于MOCVD设备的旋转系统及MOCVD设备，该旋转系统包括：桶状壳体，与反应腔本体连接，且桶状壳体用于封堵反应腔本体的底部敞口，桶状壳体包括顶板及周向侧壁，周向侧壁上具有环形槽，环形槽将桶状壳体的上半部周向侧壁分隔为上半部内侧壁和上半部外侧壁；磁悬浮电机，包括定子及转子，定子套置在桶状壳体的周向侧壁外则，转子嵌设在周向侧壁的环形槽内，且上半部外侧壁为定子与转子之间的隔板。该旋转系统降低了MOCVD反应腔室的故障率以及提高了设备产能。
主权项：1.一种用于MOCVD设备的旋转系统，其特征在于，所述系统包括：桶状壳体，用于与反应腔本体连接，且所述桶状壳体用于封堵所述反应腔本体的底部敞口，所述桶状壳体包括顶板及沿所述顶板外周布置的周向侧壁，所述周向侧壁上具有环形槽，所述环形槽的深度小于所述周向侧壁的高度，所述环形槽将所述桶状壳体的上半部周向侧壁分隔为上半部内侧壁和上半部外侧壁；且所述上半部外侧壁的厚度小于所述上半部内侧壁的厚度；磁悬浮电机，包括定子及转子，所述定子套置在所述桶状壳体的周向侧壁外则，所述转子嵌设在所述周向侧壁的环形槽内，且所述上半部外侧壁为所述定子与转子之间的隔板；所述桶状壳体的周向侧壁外侧具有凸沿，所述凸沿与所述反应腔本体的底部连接；所述转子的顶部具有朝向所述转子的外部延伸的水平部，在所述转子静止状态下，所述转子的水平部支撑在所述桶状壳体的凸沿上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京沁圆半导体设备有限公司 一种用于MOCVD设备的旋转系统及MOCVD设备
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