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申请/专利权人：成都紫光半导体科技有限公司
摘要：本公开涉及一种用于LDS设备的抽取装置，所述抽取装置包括干式泵和活动平台，所述干式泵设置在所述活动平台上，所述活动平台的底部设置有滚轮，所述干式泵进液口上连接有分歧管路，所述分歧管路具有多个分支路，每个所述分支路用于与一个LDS设备中的钢瓶连通。该抽取装置能够解决多台LDS设备同时更换内部容器钢瓶时对于干式泵需求量大的问题。
主权项：1.一种用于LDS设备的抽取装置，其特征在于，所述抽取装置包括干式泵和活动平台，所述干式泵设置在所述活动平台上，所述活动平台的底部设置有滚轮，所述干式泵进液口上连接有分歧管路，所述分歧管路具有多个分支路，每个所述分支路用于与一个LDS设备中的钢瓶连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都紫光半导体科技有限公司 用于LDS设备的抽取装置
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