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申请/专利权人：上海晖哲通讯科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种FOUP充气专用RFID电子货架，包括柜体，所述柜体的底部设置有四个相对应分布的静电轮，所述柜体的底部固定连接有四个相对应分布的固定脚，所述柜体的顶部设置有三色灯，所述柜体的外部设置有触摸屏，所述柜体的内部设置有控制器与开关电源，所述三色灯与触摸屏均与控制器电性连接。本实用新型可以有效帮助半导体工厂的生产线解决FOUPAMC污染问题，提高产品良率，从而提升工厂产能，多控制单元设计，可以对FOUP进行有序分类管理，通过RFID读取，免去人为手工记录，提高工厂自动化程度，降低MO的发生率。
主权项：1.一种FOUP充气专用RFID电子货架，包括柜体（19），其特征在于：所述柜体（19）的底部设置有四个相对应分布的静电轮（14），所述柜体（19）的底部固定连接有四个相对应分布的固定脚（15），所述柜体（19）的顶部设置有三色灯（1），所述柜体（19）的外部设置有触摸屏（2），所述柜体（19）的内部设置有控制器（12）与开关电源（13），所述三色灯（1）与触摸屏（2）均与控制器（12）电性连接，所述柜体（19）的内部设置有盘面出气口（9）与盘面进气口（10），所述柜体（19）的内部设置有红外开关（5）与按压开关（6），所述柜体（19）的内部设置有指示灯（16），所述柜体（19）的内部设置有天线（8），所述柜体（19）的内部设置有气体流量计（3），所述柜体（19）的内部设置有应急开关（11），所述应急开关（11）与开关电源（13）电性连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海晖哲通讯科技有限公司 一种FOUP充气专用RFID电子货架
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