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申请/专利权人:江苏京创先进电子科技有限公司
摘要:本发明公开了垂直度检测方法及划片机,属于划片机技术领域。垂直度检测方法包括以下步骤:S1:检测工作盘的平面度n1;S2:获取显微镜外周的三点分布的位移传感器至工作盘的位移值分别为x1、x2、x3,并计算获得y1=maxx1,x2,x3‑minx1,x2,x3;S3:检测工作盘上的工件的平面度n2;S4:获取显微镜外周的三点分布的位移传感器至工件的位移值分别为x4、x5、x6,并计算获得y2=maxx4,x5,x6‑minx4,x5,x6;当n1<9um、y1<9+mum、n2<7um且y2<7+mum时,显微镜与工作盘之间的垂直度为预设垂直度。该垂直度检测方法通过自动检测垂直度的方式,省时省力,检测效率和检测精度高,能够保证对工件的划片质量。
主权项:1.垂直度检测方法,用于检测显微镜2与工作盘1之间的垂直度,其特征在于,包括以下步骤:S1:检测所述工作盘1的平面度n1;S2:获取所述显微镜2外周的三点分布的位移传感器16至所述工作盘1的位移值分别为x1、x2、x3,并计算获得y1=maxx1,x2,x3-minx1,x2,x3;S3:检测所述工作盘1上的工件的平面度n2;S4:获取所述显微镜2外周的三点分布的所述位移传感器16至所述工件的位移值分别为x4、x5、x6,并计算获得y2=maxx4,x5,x6-minx4,x5,x6;其中,当n1<9um、y1<9+mum、n2<7um且y2<7+mum时,所述显微镜2与所述工作盘1之间的垂直度为预设垂直度;其中,m为根据所述显微镜2观察的清晰度参数确定的误差值,m为与所述显微镜2相关的常数。
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