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申请/专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
摘要：本发明公开了垂直度检测方法及划片机，属于划片机技术领域。垂直度检测方法包括以下步骤：S1：检测工作盘的平面度n1；S2：获取显微镜外周的三点分布的位移传感器至工作盘的位移值分别为x1、x2、x3，并计算获得y1＝maxx1，x2，x3‑minx1，x2，x3；S3：检测工作盘上的工件的平面度n2；S4：获取显微镜外周的三点分布的位移传感器至工件的位移值分别为x4、x5、x6，并计算获得y2＝maxx4，x5，x6‑minx4，x5，x6；当n1＜9um、y1＜9+mum、n2＜7um且y2＜7+mum时，显微镜与工作盘之间的垂直度为预设垂直度。该垂直度检测方法通过自动检测垂直度的方式，省时省力，检测效率和检测精度高，能够保证对工件的划片质量。
主权项：1.垂直度检测方法，用于检测显微镜2与工作盘1之间的垂直度，其特征在于，包括以下步骤：S1：检测所述工作盘1的平面度n1；S2：获取所述显微镜2外周的三点分布的位移传感器16至所述工作盘1的位移值分别为x1、x2、x3，并计算获得y1＝maxx1，x2，x3-minx1，x2，x3；S3：检测所述工作盘1上的工件的平面度n2；S4：获取所述显微镜2外周的三点分布的所述位移传感器16至所述工件的位移值分别为x4、x5、x6，并计算获得y2＝maxx4，x5，x6-minx4，x5，x6；其中，当n1＜9um、y1＜9+mum、n2＜7um且y2＜7+mum时，所述显微镜2与所述工作盘1之间的垂直度为预设垂直度；其中，m为根据所述显微镜2观察的清晰度参数确定的误差值，m为与所述显微镜2相关的常数。
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百度查询： 江苏京创先进电子科技有限公司 垂直度检测方法及划片机
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