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申请/专利权人：深圳市鹏乐智能系统有限公司
摘要：本发明提出一种晶圆夹取设备，用于移动晶圆体，包括：安装支架、抓取件、第一移动结构、第二移动结构以及第三移动结构；其中，抓取件安装于安装支架的一端，抓取件用于抓取晶圆体；第一移动结构安装于安装支架上且与抓取件传动连接，第一移动结构用于带动抓取件具有沿安装支架周向平面延伸方向的运动方向；第二移动结构安装于安装支架上且与第一移动结构传动连接，第二移动结构具有沿安装支架周向转动的运动方向；第三移动结构安装于安装支架上且与第二移动结构传动连接，第三移动结构具有沿安装支架轴向的往复运动轨迹。通过三个移动结构的协同作用，能够实现对晶圆体的快速、稳定的移动和定位，提高了晶圆夹取设备的工作效率和性能。
主权项：1.一种晶圆夹取设备，用于移动晶圆体，其特征在于，包括：安装支架；抓取件，安装于所述安装支架的一端，所述抓取件用于抓取所述晶圆体；第一移动结构，安装于所述安装支架上且与所述抓取件传动连接，所述第一移动结构用于带动所述抓取件具有沿所述安装支架周向平面延伸方向的运动方向；第二移动结构，安装于所述安装支架上且与所述第一移动结构传动连接，所述第二移动结构具有沿所述安装支架周向转动的运动方向；第三移动结构，安装于所述安装支架上且与所述第二移动结构传动连接，所述第三移动结构具有沿所述安装支架轴向的往复运动轨迹。
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百度查询： 深圳市鹏乐智能系统有限公司 晶圆夹取设备
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