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申请/专利权人：盛吉盛(韩国)半导体科技有限公司;盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
摘要：本发明提供一种化学气相沉积设备的盖罩的散热结构及盖罩，包括：设置在盖罩的侧壁上的呈网格排列状的散热孔集群；散热孔集群中的每个散热孔的尺寸均为射频的屏蔽标准以下的规格。利用本发明能够解决现有技术中缺少一种能够对盖罩内部的热量进行有效释放，从而避免由于盖罩内部的高温对其内部的部件造成损坏以及提高盖罩内部部件维修效率的有效方法的问题。
主权项：1.一种化学气相沉积设备的盖罩的散热结构，其特征在于，包括：设置在所述盖罩的侧壁上的呈网格排列状的散热孔集群；所述散热孔集群中的每个散热孔的尺寸均为射频的屏蔽标准以下的规格。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 盛吉盛(韩国)半导体科技有限公司 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 化学气相沉积设备的盖罩的散热结构及盖罩
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