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申请/专利权人：北京大学
摘要：本发明公开了一种基于反谐振反射的微纳尺度声学波导及其制造方法，属于微纳尺度声学波导技术领域，旨在实现对声学模式的灵活控制和优化声学特性。本微纳尺度声学波导包括中心波导和作为反谐振反射层的蚀刻槽，通过调整刻蚀槽的厚度，实现了在反共振和共振状态之间切换，具有在优化声学特性方面的有效性、结构的稳定性和均匀性。本制造方法采用了负载载效应蚀刻技术，通过一次曝光和蚀刻步骤制造整个结构，避免了传统套刻工艺的复杂性，同时提高了制造精度。
主权项：1.一种基于反谐振反射的微纳尺度声学波导，其特征在于，包括悬浮固体薄膜，在该悬浮固体薄膜上设有用于传导声波的一中心波导，以及在该中心波导两侧设有对称的若干组蚀刻槽；每组刻蚀槽用于作为反谐振反射层，将声场限制在中心波导内；刻蚀槽的纵向深度和横向厚度两项参数可调节，通过调节该两项参数来改变反谐振状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京大学 一种基于反谐振反射的微纳尺度声学波导及其制造方法
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