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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明提供了一种喷淋头清洁装置，用于对反应炉内部的喷淋头进行清洁，所述喷淋头位于所述反应炉内的顶部，所述清洁装置包括：激光烧蚀组件，设置于所述反应炉，所述激光烧蚀组件包括输出单元，所述输出单元位于所述反应炉内部，且朝向所述喷淋头，用于去除所述喷淋头上的二硫化钼涂层；加热组件，与所述喷淋头连接，且设置于所述喷淋头上方，可对所述喷淋头加热；隔断组件，所述隔断组件包括设置于所述反应炉一侧的隔断插板。本发明通过激光烧蚀组件和加热组件的设置，可依次对反应炉的喷淋头进行高能激光烧蚀和加热蒸发，以此两步法清洁喷淋头上的二硫化钼涂层、大颗粒中间产物以及分解所吸附的钼硫相关小分子；实现喷淋头的深度清洁处理。并且，在清洁过程中，需配合隔断组件，通过控制隔断插板在反应炉的进入取出，阻止物料杂质对反应炉下方生长衬底的污染，保证良好的清洁效果。
主权项：1.一种喷淋头清洁装置，其特征在于，用于对反应炉内部的喷淋头进行清洁，所述喷淋头位于所述反应炉内的顶部，所述清洁装置包括：激光烧蚀组件，设置于所述反应炉，所述激光烧蚀组件包括输出单元，所述输出单元位于所述反应炉内部，且朝向所述喷淋头，用于去除所述喷淋头上的二硫化钼涂层；加热组件，与所述喷淋头连接，且设置于所述喷淋头上方，可对所述喷淋头加热；隔断组件，所述隔断组件包括设置于所述反应炉一侧的隔断插板，所述隔断插板可移动插入所述反应炉内部，将所述反应炉分隔为两部分，以及移动从所述反应炉内移出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种喷淋头清洁装置及清洁方法
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