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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明涉及一种用于将研磨带压附于晶片等基板的研磨头。另外，本发明涉及一种用这样的研磨头来研磨基板的研磨装置。研磨头10具备：将研磨带2压附于基板W的按压部件12；使按压部件12在规定的按压方向CL上移动，赋予按压部件12按压力的致动器15；及调整按压部件12相对于按压方向CL的斜率的斜率调整机构40。斜率调整机构40构成为，使按压部件12相对于按压方向CL倾斜并保持倾斜的按压部件12的角度。
主权项：1.一种研磨头，用于研磨基板，其特征在于，具备：按压部件，该按压部件将研磨带压附于基板进行；致动器，该致动器使所述按压部件在规定的按压方向上移动，赋予所述按压部件按压力；以及斜率调整机构，该斜率调整机构调整所述按压部件相对于所述按压方向的斜率，所述斜率调整机构构成为，使所述按压部件相对所述按压方向倾斜并保持倾斜的所述按压部件的角度。
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