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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明提供一种研磨装置和研磨方法，该研磨装置包含：研磨台，该研磨台用于支承研磨垫；研磨头，该研磨头用于保持基板；以及研磨液供给装置，该研磨液供给装置用于向研磨垫与基板之间供给研磨液，研磨装置通过在研磨液的存在下使研磨垫与基板接触并相互旋转运动，从而进行基板的研磨，研磨液供给装置具有多个研磨液供给口，该多个研磨液供给口在相对于基板配置在研磨垫的旋转上游侧的状态下，在与研磨垫的旋转方向交叉的方向上排列，研磨液供给装置以从多个研磨液供给口供给的研磨液成为规定的流量分布的方式供给研磨液。
主权项：1.一种研磨装置，使用具有研磨面的研磨垫来进行对象物的研磨，该研磨装置的特征在于，具备：研磨液供给装置；臂，该臂能够相对于所述研磨面水平移动；升降机构，该升降机构对所述臂进行升降；追随机构，该追随机构与所述臂和所述研磨液供给装置连结，并使所述研磨液供给装置追随所述研磨垫的所述研磨面；以及悬挂机构，该悬挂机构与所述臂和所述研磨液供给装置连结，并在由所述升降机构进行的所述臂的升降时悬挂所述研磨液供给装置，所述追随机构具有：两个杆，各杆具有第一端和第二端，各杆的第一端经由第一球面接头安装于所述研磨液供给装置；以及两个第二球面接头，该两个第二球面接头在所述两个杆之间固定于所述臂，并滑动自如地容纳所述各杆的第二端，所述悬挂机构具备：第一限位器，该第一限位器固定于所述研磨液供给装置；以及卡合部，该卡合部固定于所述臂，并且在所述臂相对于所述研磨液供给装置上升时，该卡合部与所述第一限位器卡合。
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