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申请/专利权人：重庆芯联微电子有限公司
摘要：本发明提供一种研磨液臂装置与晶圆研磨方法，研磨液臂装置包括臂本体、三叉通道结构、控制件和夹板，臂本体的内部设有研磨液管；三叉通道结构包括共用通道、第一出液通道和第二出液通道；控制件用于控制研磨液流入第一出液通道或第二出液通道；夹板位于第二出液通道远离三通阀的一端，夹板包括上夹板和下夹板以夹持晶圆，下夹板朝向上夹板的一侧设有打磨垫。本发明中三叉通道结构包括第一出液通道和第二出液通道，第一出液通道用于对晶圆中心区域研磨时提供研磨液，第二出液通道用于对晶圆边缘区域研磨时提供研磨液，第二出液通道远离第一出液通道的一端设有夹板，夹板能够夹持晶圆边缘区域以对边缘区域进行研磨，以避免边缘区域金属残留。
主权项：1.一种研磨液臂装置，其特征在于，包括：臂本体，所述臂本体的内部设有研磨液管；三叉通道结构，所述三叉通道结构包括共用通道、第一出液通道和第二出液通道，所述共用通道的一端和所述臂本体内部的所述研磨液管连通，所述共用通道的另一端和所述第一出液通道及所述第二出液通道连通；控制件，用于控制研磨液通过所述研磨液管、所述共用通道后流入所述第一出液通道或所述第二出液通道；夹板，位于所述第二出液通道远离所述三通阀的一端，所述夹板包括上夹板和下夹板，所述上夹板和所述下夹板能够夹持晶圆，其中，所述下夹板朝向所述上夹板的一侧设有打磨垫。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆芯联微电子有限公司 一种研磨液臂装置与晶圆研磨方法
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