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申请/专利权人：乂易半导体科技(无锡)有限公司
摘要：本实用新型涉及一种晶圆传送盒存取装置，包括储物柜，储物柜内部设置有至少一列储物格、至少一个升降机构及传送机构，升降机构包括升降驱动组件及升降通道，升降通道沿竖向布置在储物格的一侧，储物柜上设置有进出料口，进出料口正对升降通道，传送机构包括第一传送组件及若干第二传送组件，第一传送组件设置在升降通道内并用于搬运位于进出料口处的晶圆传送盒，升降驱动组件用于驱使第一传送组件沿升降通道移动，第二传送组件与储物格一一对应且布置在对应的储物格的底部，第一传送组件及第二传送组件共同运动时第一传送组件将晶圆传送盒水平传送至第二传送组件上。该晶圆传送盒存取装置能够将晶圆传送盒转移至任一位置的储物格内。
主权项：1.一种晶圆传送盒存取装置，其特征在于，包括储物柜，所述储物柜内部设置有至少一列储物格、至少一个升降机构及传送机构，所述升降机构包括升降驱动组件及升降通道，所述升降通道沿竖向布置在所述储物格的一侧，所述储物柜上设置有进出料口，所述进出料口正对所述升降通道，所述传送机构包括第一传送组件及若干第二传送组件，所述第一传送组件设置在所述升降通道内并用于搬运位于所述进出料口处的晶圆传送盒，所述升降驱动组件用于驱使所述第一传送组件沿所述升降通道移动，所述第二传送组件与所述储物格一一对应且布置在对应的储物格的底部，所述第一传送组件及所述第二传送组件共同运动时所述第一传送组件将所述晶圆传送盒水平传送至所述第二传送组件上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 乂易半导体科技(无锡)有限公司 晶圆传送盒存取装置
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