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申请/专利权人：上海普达特半导体设备有限公司;普达特半导体设备(徐州)有限公司
摘要：本实用新型提供一种晶圆清洗装置，包括：进出料单元、晶圆存取单元、晶圆搬运单元及晶圆清洗单元，其中进出料单元用于输送装载有待清洗晶圆的晶圆盒及清洗后的晶圆的晶圆盒；晶圆存取单元位于进出料单元一侧并与其相邻设置，用于存储装载有待清洗晶圆的晶圆盒及清洗后的晶圆的晶圆盒；晶圆搬运单元位于晶圆存取单元远离进出料单元一侧并与其相邻设置，且其中至少包括一多轴机械手臂及合片机构，合片机构用于承载待清洗及清洗后的晶圆，多轴机械手臂用于搬运晶圆；晶圆清洗单元位于晶圆搬运单元远离进出料单元一侧并与其相邻设置，用于对晶圆进行清洁。本实用新型的晶圆清洗装置大大提升了工艺进程中的产能，降低了装置成本。
主权项：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括：进出料单元，用于输送装载有待清洗的晶圆的晶圆盒以及装载有清洗后的所述晶圆的晶圆盒；晶圆存取单元，位于所述进出料单元的一侧并与所述进出料单元相邻设置，所述晶圆存取单元用于存储装载有待清洗的所述晶圆的所述晶圆盒以及装载有清洗后的所述晶圆的所述晶圆盒；晶圆搬运单元，位于所述晶圆存取单元远离所述进出料单元的一侧并与所述晶圆存取单元相邻设置，所述晶圆搬运单元中至少包括一多轴机械手臂及合片机构，所述合片机构用于对多个装载有待清洗的所述晶圆的所述晶圆盒中的所述晶圆进行合片以及承载清洗后的所述晶圆，所述多轴机械手臂用于将待清洗的所述晶圆从所述晶圆存取单元搬运至所述合片机构以进行所述晶圆清洗以及将清洗后的所述晶圆从所述合片机构搬运至所述晶圆存取单元；晶圆清洗单元，位于所述晶圆搬运单元远离所述进出料单元的一侧并与所述晶圆搬运单元相邻设置，所述晶圆清洗单元用于对所述晶圆进行清洁。
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