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申请/专利权人：东莞市日月辉科技有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体清洗装置技术领域，且公开了镂空式清洗花篮,包括清洗花篮主体，清洗花篮主体的顶部设有限位结构和支撑结构，限位结构包括第一横板、第一竖板、挡板、滑块、弹簧、导向杆和限位杆，第一横板的两端均设有第一竖板，两个第一竖板下表面均设有挡板，两个挡板的一侧均设有滑块，第一横板的上表面设有导向杆，导向杆固定为两个且对称设置，支撑结构包括第二横板、第二竖板和连接杆，第二横板的两端均设有第二竖板，两个第二竖板的下表面均设有连接杆。本实用新型通过限位结构与支撑结构的配合使用，可以对清洗花篮主体内部的晶圆块进行限位固定，避免晶圆在清洗的过程中从清洗花篮主体的内部滑出。
主权项：1.镂空式清洗花篮，包括清洗花篮主体1，其特征在于：所述清洗花篮主体1的顶部设有限位结构2和支撑结构3；所述限位结构2包括第一横板201、第一竖板202、挡板203、滑块204、弹簧205、导向杆206和限位杆207，所述第一横板201的两端均设有第一竖板202，两个所述第一竖板202下表面均设有挡板203，两个所述挡板203的一侧均设有滑块204，所述第一横板201的上表面设有导向杆206，所述导向杆206固定为两个且对称设置，两个所述导向杆206的外表面均套设有弹簧205，两个所述挡板203之间设有若干个限位杆207；所述支撑结构3包括第二横板301、第二竖板302和连接杆303，所述第二横板301的两端均设有第二竖板302，两个所述第二竖板302的下表面均设有连接杆303。
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