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申请/专利权人：联盛半导体科技(无锡)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种清洗花篮防压装置，涉及硅片清洗技术领域，包括两相互平行且顶面平齐的导轨、存取花篮机构、花篮槽、控制装置；花篮槽设置在两导轨的下方；存取花篮机构包括安装在两导轨上的滑块，滑块上安装有滑块驱动装置、支架，滑块中部垂直向设有通孔；滑块驱动装置与一导轨相连；支架上设有升降杆、升降杆升降驱动装置、若干升降杆升降测量传感器；升降杆穿过通孔，升降杆底端设有花篮提架，升降杆升降驱动装置与升降杆相连，升降杆升降测量传感器设置在支架顶端；升降杆升降测量传感器、滑块驱动装置、升降杆升降驱动装置分别与控制装置相连。本实用新型清洗花篮防压装置可避免清洗花篮在存取的时候被挤压损坏的情况发生。
主权项：1.一种清洗花篮防压装置，其特征在于：包括两相互平行且顶面平齐的导轨（1）、存取花篮机构（2）、花篮槽（3）、控制装置；花篮槽（3）设置在两导轨（1）的下方；存取花篮机构（2）包括安装在两导轨（1）上的滑块（21），滑块（21）上安装有滑块驱动装置（22）、支架（23），滑块（21）中部垂直向设有通孔（24）；滑块驱动装置（22）与一导轨（1）相连；支架（23）上设有升降杆（25）、升降杆升降驱动装置（26）、若干升降杆升降测量传感器（27）；升降杆（25）穿过通孔（24），升降杆（25）底端设有花篮提架（28），升降杆升降驱动装置（26）与升降杆（25）相连，升降杆升降测量传感器（27）设置在支架（23）顶端；升降杆升降测量传感器（27）、滑块驱动装置（22）、升降杆升降驱动装置（26）分别与控制装置相连。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 联盛半导体科技(无锡)有限公司 一种清洗花篮防压装置
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