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申请/专利权人：深圳市石金科技股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于对硅片花篮的新型检测工具，包括底座、定位机构和检测机构；所述检测机构包括支座、若干组检测组件和检测驱动机构；所述检测组件包括设置在支座上的若干组检测片，若干组检测片沿着支座的运动方向排列设置，每组检测片为多个，多个检测片在支座上呈竖向排列；相邻两组检测片在竖直方向上呈交错排列，且相邻两组检测片中相邻两个交错设置的检测片中的间距则构成检测区域。通过上述设置，使得本实用新型的新型检测工具在对硅片花篮进行检测时，可以避免该硅片花篮发生晃动，不仅可以提高检测的精确度，而且还可以防止该硅片花篮与检测组件发生碰撞，从而实现对两者进行保护。
主权项：1.一种用于对硅片花篮的新型检测工具，其特征在于，包括底座、设置在底座上的用于对硅片花篮进行固定的定位机构以及用于对硅片花篮进行检测的检测机构；所述检测机构包括支座、设置在支座上的若干组检测组件以及用于驱动所述支座运动以促使所述检测组件进入到所述硅片花篮内对该硅片花篮的齿槽间距进行检测的检测驱动机构，其中，所述检测组件包括设置在所述支座上的若干组检测片，若干组检测片沿着所述支座的运动方向排列设置，每组检测片为多个，多个检测片在所述支座上呈竖向排列；相邻两组检测片在竖直方向上呈交错排列，且相邻两组检测片中相邻两个交错设置的检测片中的间距则构成检测区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市石金科技股份有限公司 一种用于对硅片花篮的新型检测工具
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